- Phân tử ozone được cấu thành từ 3 nguyên tử O và có cấu tạo không bền, tuy nhiên nó lại cần rất nhiều năng lượng để tạo thành. Ozone có thể được tạo thành từ phân tử oxy nhờ phóng tĩnh điện, tia cực tím, hoặc do tác động của bức xạ điện từ trường cao năng lượng.
- Ozone trong bầu khí quyển Trái Đất nói chung được tạo thành bởi tia cực tím (tia UVC), tia cực tím phá vỡ các phân tử oxy, tạo thành oxy nguyên tử. Oxy nguyên tử sau đó kết hợp với phân tử oxy chưa bị phá vỡ để tạo thành ozone.